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超純水處理流程

超純水處理

一般超純水的核心部分都是反滲透系統,在確定了水源之后選擇合適的反滲透膜。根據水源硬度等確定使用兩級RO+離子交換系統還是選擇 RO+陰陽床+離子交換系統。然后根據水源的特性確定反滲透之前預處理系統(超濾、M...

一般超純水的核心部分都是反滲透系統,在確定了水源之后選擇合適的反滲透膜。根據水源硬度等確定使用兩級RO+離子交換系統還是選擇 RO+陰陽床+離子交換系統。然后根據水源的特性確定反滲透之前預處理系統(超濾、MF、AC等)。
要點:反滲透是制取純水的核心設備,如何運行好反滲透關鍵在于預處理,只有嚴格控制好RO系統進水指標,RO系統才能平穩運行。

大流量濾芯
中文名 大流量濾芯 長????度 1016mm
外文名 ?Large flow filter 外????徑 152mm-161mm
工作壓差 ≤0.245MPA 過濾比 β≥1000
流????量 70m3/h 結????構 導流層、支撐層、過濾層
壽????命 3-6個月 連接方式 超聲波熱熔
密????封 丁晴橡膠 精度范圍 1-50微米

在半導體產品的制造過程中,由于生產設備的精度和生產工藝的復雜性,對其配套設施提出了很高的要求,尤其是作為半導體行業血液的超純水系統。半導體行業超純水的制造過程可以概括為四個部分,即預處理部分、反滲透部分、電去離子部分和拋光混床部分。在一些半導體工廠中,“負床和正床”也用來代替電去離子裝置,主要是根據原水水質和生產水水質對弱電解質的要求。
產品優勢
避免了傳統離子再生消耗大量的酸堿,對環境更加友好;
克服了傳統離子設備再生周期較長的問題;
超濾反洗排水、一級反滲透濃水排水和CEDI濃水排水及其回用措施有利于節能減排;
節約水資源和半導體制造單位的運營成本。
產品應用
預處理部分
多介質過濾器活性炭過濾器
粗濾器超濾裝置
反滲透部分
逆滲透膜
電去離子部分
電子數據交換模塊和電子數據交換模塊
拋光混床

超純水處理

超純水系統工藝流程
1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統工藝)
2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)
3、預處理→一級反滲透→加藥機(PH調節)→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(新工藝)
4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(新工藝)
5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統工藝)

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